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18~195X物方視場(chǎng)
8.1~1.3mm工作距離
82mm光柵尺解析度
0.1um
測(cè)量精度
2.5+L/200重復(fù)精度
2.5um總放大倍率
18~195X物方視場(chǎng)
8.1~1.3mm工作距離
82mm光柵尺解析度
0.1um
測(cè)量精度
2.5+L/200重復(fù)精度
2.5um總放大倍率
18~195X物方視場(chǎng)
8.1~1.3mm工作距離
82mm光柵尺解析度
0.1um
測(cè)量精度
2.5+L/200重復(fù)精度
2.5um總放大倍率
18~195X物方視場(chǎng)
8.1~1.3mm工作距離
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0.1um
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2.5+L/200重復(fù)精度
2.5um總放大倍率
18~195X物方視場(chǎng)
8.1~1.3mm工作距離
90mm光柵尺解析度
0.5um
測(cè)量精度
2.5+L/200重復(fù)精度
2.5um總放大倍率
18~195X物方視場(chǎng)
8.1~1.3mm工作距離
90mm光柵尺解析度
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2.5+L/200重復(fù)精度
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18~195X物方視場(chǎng)
8.1~1.3mm工作距離
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2.5+L/100重復(fù)精度
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18~195X物方視場(chǎng)
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測(cè)量精度
2.5+L/200重復(fù)精度
2.5um總放大倍率
25.2~158.4X物方視場(chǎng)
8.1~1.3mm工作距離
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工作距離
光柵尺解析度
導(dǎo)航×
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